Современное
высокотехнологичное
оборудование

(495) 660-88-97
280-74-78
info@msht.ru
Главная » Каталог » Вакуумные крионасосы » Вакуумные крионасосы

Вакуумные крионасосы

Наша компания на правах официального представителя в России и странах СНГ предлагает криогенное вакуумное оборудование компании SHI Cryogenics - одного из мировых лидеров в области вакуумных и криогенных технологий.


Основные области применения:
  • - Прозводство полупроводников
  • - Производство испытательного оборудования
  • - Производство солнечных батарей
  • - Напылительные установки
  • - Производство полупроводниковых пластин

Крионасосы Marathon®


Крионасосы Marathon®Высокие требования к эффективности и надежности оборудования предъявляет производство полупроводников, испытательного оборудования, солнечных батарей, плоских дисплеев, а также различных напылительных установок. Вакуумные крионасосы серии Marathon® специально разработанные для высоковакуумных применений, удовлетворяют самым высоким требованиям, при минимальных эксплуатационных затратах. Эти универсальные системы успешно применяются и в массовом производстве во всех указанных областях, и в небольших научных лабораториях.


Компания SHI Cryogenics предлагает 8 вариантов исполнения крионасосов Marathon CP с диаметром фланца от 200 до 500 мм. Стандартный модельный ряд и насосы с малой производительностью имеют следующие типоразмеры фланцев: это ANSI, ISO и CF. В зависимости от потребностей, вы можете выбрать ручное или полностью автоматическое управление.


Простота в обслуживании – важное достоинство насосов Marathon® . Работы осуществляются без демонтажа насоса с вакуумной камеры и нарушения вакуума . Это дает увеличение времени продуктивной работы насоса и уменьшение стоимости эксплуатации.


Для откачки больших потоков ксенона наша компания предлагает специализированные решения на базе встраиваемых криогенных насосов высокой производительности. Охлаждение насосов осуществляется мощной одноступенчатой криомашиной. Быстрота действия по ксенону таких насосов может достигать 100 000 л/c и более. В тоже время насос очень прост для установки на практически любую вакуумную систему, для установки требуется фланец DN200 и возможность доступа внуть вакуумной камеры для монтажа сорбирующей пластины. Крионасосы данного типа превосходят все известные аналоги по показателю стоимости на единицу быстроты действия и обладают целым рядом других важных преимуществ, например, позволяют регенирировать ксенон, что особенно важно для длительных экспериментов. Для получения более подробной информации обращайтесь к специалистам нашей компании.


Чертежи


Marathon® CP-8 ISO 200 Outline Drawing

Marathon® CP-8LP ISO 200 Outline Drawing

Marathon® CP-250LP ISO 250 Outline Drawing

Marathon® CP-12 ISO 320 Outline Drawing

Marathon® CP-16 ISO 400 Outline Drawing

Marathon® CP-20 ISO 500 Outline Drawing


Изображения крионасосов


Крионасосы Marathon® Крионасос CP-8LPВакуумный крионасос CP-12 Вакуумный крионасос СP-16 Вакуумный крионасос CP-20

CP-8


CP-8LP


CP-12


CP-16


CP-20



 Вакуумный крионасос sicera 8малВакуумный крионасос sicera_12

 SICERA 8"


 SICERA 12"


Нажмите на изображение для увеличения

Подробные технические описания

SHI Cryopumps Product Catalogue

Marathon® CP-12 Cryopump Datasheet

Marathon® CP-16 Cryopump Datasheet

Marathon® CP-20 Cryopump Datasheet

Marathon® CP-250LP Cryopump Datasheet

Marathon® CP-8 Cryopump Datasheet

Marathon® CP-8LP Cryopump Datasheet

Marathon® CP Series Cryopumps Overview

Marathon® Cryopump Controller Datasheet

SICERA® Cryopump Datasheet

Zephyr Helium Compressor Datasheet

F-70 Helium Compressor Datasheet

HC-4E1 Helium Compressor Datasheet

HC-8E4 Helium Compressor Datasheet


Каталоги

Каталог оборудования SHI Cryogenics, Русский, 5 МБ


Контроллеры крионасосов


Контроллеры MCCКонтроллеры МСС дают возможность сделать работу насосов Marathon® полностью автоматизированной. Для этого используется хост-компьютер и стандартизированный в промышленности протокол. Вы можете использовать обычный компьютер с операционной системой Windows, установив дополнительное программное обеспечение, в случае отсутствия хост-компьютера на предприятии. Контроллеры МСС, применяемые с крионасосами Marathon® способствуют уменьшению длительности производственного цикла, существенному сокращению времени простоя оборудования между производственными циклами, и заметному повышению общей эффективности процесса откачки.


Крионасосы SICERA™


Насосы серии SICERA изготовлены по запатентованной инверторной технологии, имеют мощность всего 0,9кВт, тем самым меняя определение «низкое потребление энергии» и уменьшая ваши затраты на электроэнергию на 20-30%. На одном компрессоре можно одновременно использовать до шести насосов (200 мм) без уменьшения производительности, это позволяет сделать качественно новая система.


Насосы серии SICERA Насосы серии SICERA доступны с размерами фланцев 200 и 300 мм. Полностью автоматический цикл регенерации, который имеют обе модели, позволяет максимизировать время продуктивной работы. В результате, экономия электроэнергии и увеличенная производственная эффективность делают насосы данной серии идеальными для таких применений как массовое производство полупроводниковых пластин, плоскопанельных дисплеев и прочих схожих производств.


В отличие от насосов, полностью готовые к работе системы SICERA включают в себя компрессор и переносной контроллер. Все компоненты системы проходят всесторонние испытания, чтобы соответствовать требованиям самых сложных вакуумных применений. Один контроллер может одновременно управлять работой десяти (10) крионасосов и двух (2) компрессоров, входящих в систему. Благодаря непрерывному контролю работы криокуллера и компрессора, системы SICERA – это значительная экономия затрат электроэнергии, непревзойденная стабильность температуры и уровня вакуума.


Технические характеристики крионасосов


Модель

CP-8 

CP-8LP 

CP-250LP 

CP-12 

CP-16 

 CP-20

 SICERA 8"

SICERA 12" 

Скорость откачки (л/сек)

Воздух

 1500

 1800

 3060

 3600

 4800

 9700

 1500

 3300

Вода

 4200

 4200

 6300

 9560

 17300

 29100

 4000

 9500

Аргон

 1250

 1500

 2500

 3100

 4100

 8300

 1200

 2700

Водород

 2300

 3000

 5000

 7300

 12000

 14000

 2200

 6000

Пропускная способность

Аргон (тор-л/сек)

 11.0

 11.0

 11.0

 12.6

 11.4

 11.3

 8.9

 8.9

Аргон(см3/ мин)

 870

 870

 870

 1000

 900

 900

 700

 700

Емкость(стан-дартные литры)

Аргон при 1x10-6 торp

 1200

 1600

 1600

 3100

 5500

 6000

 1000

 2000

Водород при 5x10-6 торp

 25

 25

 25

 50

 50

 33

 12

 30

Параметр включения в работу (торр-литры)

 -

 220

 220

 220

 650

 500

 400

 150

 150

Время захолаживания (мин)

 -

 75

 110

 110

 90

 135

 190

120

150 

Входной фланец

ANSI

 6"

 6"

-

 10"

-

 20"

-

-

ISO

200 мм

200 мм

250 мм

320 мм 

400 мм

500 мм

-

 -

Conflat

 10"

 10"

-

-

-

-

 253

 -

CVC

-

-

-

 10"

 10"

-

-

-


Подбор компрессора для криогенного насоса



 


CP-8 

CP-8LP 

CP-250LP 

CP-12 

CP-16 

 CP-20

 SICERA

Zephyr™

+

+

+

 

 

 

 

HC-4E1

 +

+

+

 


 


 


 


HC-8E4

 +

+

+

+

+

 


 


F-70 

+

 +

+

 +

+

+

 


CSW-61D 

 


 


 


 


 


 


+

НОВОСТИ
  • Компания MSH Techno  приняла участие в международной выставке «ВакуумТехЭкспо'2017».... 14/04/2017
  • Посетите наш стенд А133 на выставке «ВакуумТехЭкспо'2016»!... 08/03/2016
  • Приглашаем на международную выставку «ВакуумТехЭкспо'2014», проводимую по адресу: Россия, Москва, КВЦ «Сокольники», в период с 15 по 17 апреля 2014 г.... 10/01/2014
  • Новая партия криорефрижераторов RDK и систем криорефрижераторов на базе воздушного гелиевого компрессора производства  SHI Cryogenics (Япония) поступила на наш склад в г. Москве. ... 20/06/2013
  • Наша компания MSH Techno стала мировым лидером среди дилеров по объему роста продаж криогенной и вакуумной техники SHI Cryogenics.... 19/04/2013
  • Новая партия одноступенчатых криогенных машин CH-110 и компрессоров с водяным охлаждением F70HV производства компании SHI Cryogenics (Япония) поступила на наш склад в г. Москве. ... 26/02/2013
  • Приглашаем на международную выставку «ВакуумТехЭкспо'2013», проводимую по адресу: Россия, Москва, КВЦ «Сокольники», в период с 16 апреля по 18 апреля 2013 г.... 15/01/2013
  • Открыта вакансия Инженера по продажам... 12/12/2012